xy軸精密大理石直線電機定位平臺,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應(yīng)用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測。
重復(fù)定位精度:±0.001mm
絕對定位精度:±0.004mm
XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm
非標(biāo)定制產(chǎn)品,配置價格請咨詢!
*絕對定位精度需通過軟件修正。
Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產(chǎn)生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。
XYZ三軸高精密大理石直線電機平臺,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導(dǎo)軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,多應(yīng)用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等各種高精密制造檢測。
XYZ三軸行程:X500mm/Y500mm/Z200mm(客戶定制)
重復(fù)定位精度:±0.001mm
絕對定位精度:±0.004mm
應(yīng)用行業(yè):晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等;
*絕對定位精度需通過軟件修正。
*Z軸采用直線電機配恒力彈性裝置,保證Z軸斷電保護。