XY精密對位平臺

• 一般環(huán)境使用

• 高精密對位平臺，可選中空設(shè)計(jì)，采用無鐵芯直線電機(jī)和SP級交叉滾子導(dǎo)軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，平面度≤8um，可配R軸旋轉(zhuǎn)軸，多應(yīng)用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等；

• 產(chǎn)品參數(shù)

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時(shí)，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。