應(yīng)用領(lǐng)域：

一款直驅(qū)三軸精密運動臺，帶旋轉(zhuǎn)功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領(lǐng)域。

結(jié)構(gòu)特點：

XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu)，底軸寬度約是上軸長度的2/3，移動到極限位置時，防止重心不穩(wěn)定。配備自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好等特點。R軸轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)扁平薄，三軸疊層后降低工作點的高度，可360度旋轉(zhuǎn)，用于角度調(diào)整，是晶圓切割加工應(yīng)用的理想選擇。

精度性能：

采用光柵閉環(huán)反饋，考慮材料的熱膨脹影響，加工工藝和裝配工藝等，使XY軸重復(fù)定位精度≤±0.4μm，全行程直線度±1μm和平面度±1.25μm，R軸微動步距1arc sec。

防塵管理：

精密運動臺的防塵設(shè)計，有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進入直線臺，影響使用壽命，同時不受防塵罩擾動力的影響。

定制化：

根據(jù)應(yīng)用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產(chǎn)效率等；可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統(tǒng)方案。